LE SALON / LE PORTAIL D'INFORMATIONS MICROTECHNIQUES
10.04.2019
B - Equipements
Graveur en phase vapeur HF
Le VPE se compose d'une chambre de réaction et d'un couvercle. Un élément chauffant est intégré dans le couvercle. Il contrôle la température du support à graver.
Le serrage des wafers peut être réalisé de deux manières : Les plaquettes peuvent être serrées mécaniquement à l'aide de la bague de serrage. Le vissage se fait par l'arrière de l'appareil, qui n'est jamais en contact avec la vapeur HF. Les 3 écrous sont faciles à manipuler avec des gants de protection. L'autre option est le serrage électrostatique. Il est possible de fixer sur l'élément chauffant des copeaux individuels (d'une longueur supérieure à 10 mm) ainsi que des plaquettes. La face arrière de la plaquette est protégée contre la gravure.
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