DAS INFORMATIONSPORTAL FÜR MIKROTECHNIK / DIE MESSE
04.07.2022
J - Dienstleistungenfirmen
Maskenmessmaschine MM
Das Gerät verfügt über zwei Planspiegel-Interferometer, mit welchen die aktuelle Position mittels Laser-Messsystem präzise gemessen wird.
Der Laserstrahl ist dabei auf der Höhe des Prüflings in der verlängerten Messlinie angeordnet. Es wird so die relative Bewegung zwischen Mikroskop und dem Prüfling mit Nanometer-Auflösung erfasst.
Der Planspiegel mit seiner kinematischen Auflage bildet dabei das eigentliche Kernstück des Geräts. Ein Kompensationsfile, welches die Geometrie des Planspiegels wiedergibt, wird in der Software hinterlegt. Mit dieser Methode werden allerhöchste Genauigkeiten realisiert.
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