DAS INFORMATIONSPORTAL FÜR MIKROTECHNIK / DIE MESSE
24.11.2022
J - Dienstleistungenfirmen
Rastermaskenmaschine
Mit der Rastermaskenmaschine wird eine Fertigungstechnologie zur Herstellung von grossen kohärenten Gittern bereitgestellt, welche die Herstellung zu moderaten Kosten im Verhältnis zur Grösse gewährleistet.
Als Basis der Lineareinheit dient eine stabile Grundplatte aus feinkörnigem Hartgestein, feinstgeläppt in höchster Präzision. In der Oberfläche der Grundplatte sind zwei Nuten eingearbeitet. Die erste Nut dient als Seitenführung für die hochstabile vakuum-luftgelagerte Verfahreinheit. Mit diesem Konzept wird eine unübertroffene Geradheitsbewegung mit geringstem Gieren erreicht. In der zweiten Nut ist ein eisenloser Linearmotor integriert, welcher den Antrieb bildet. Das komplette System wird mittels aktiver Luftlagerung gegen Vibrationen und weitere äussere Einflüsse isoliert.
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